天津泰斯特1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF）

CVD-TF16P50/60/80/100   CVD-TF16T50/60/80/100   CVD-TF16P60/80/100S   CVD-TF16T60/80/100S

1600℃真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF），提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域，此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。優(yōu)點爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成，溫場均勻節(jié)能50%以上
自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果
啟動電爐，排溫風(fēng)機同時自動運行，試驗結(jié)束后，排溫風(fēng)機將繼續(xù)運行，直至爐體溫度低于60℃，排溫風(fēng)機自行停止，有效保護了爐體表面
爐門開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能，以確保使用的安全性安全性過升報警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時。
采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，安全。
采用混氣罐裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會泄露。

■ 產(chǎn)品特點

提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域

此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。

爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成，溫場均勻節(jié)能50%以上

自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果

啟動電爐，排溫風(fēng)機同時自動運行，試驗結(jié)束后，排溫風(fēng)機將繼續(xù)運行，直至爐體溫度低于60℃，排溫風(fēng)機自行停止，有效保護了爐體表面

爐門開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能，以確保使用的安全性

電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

加熱模塊采用直流信號調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應(yīng)電對控制信號的干擾

操作按鍵選用低壓金屬按鈕，自帶狀態(tài)指示燈，操作安全直觀

上下爐體采用航空插頭連接方式，連接安全方便

氣路總成采用食品級316不銹鋼制成，具有耐蝕性，耐大氣腐蝕性和耐高溫強度好，無磁性

采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。重復(fù)性好，相應(yīng)速度快，穩(wěn)定等特點。（氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)）

自動控制與手動控制切換功能，自動控制模式能通過設(shè)定值自動開啟/關(guān)閉真空泵，使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的需要。（中真空控制系統(tǒng)）

電磁閥緩啟動技術(shù)，使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開，使爐管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準確，也保證了廢氣不會返回到爐管系統(tǒng)影響實驗效果（中真空控制系統(tǒng)）

■安全性：

過升報警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時。

采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。

采用混氣罐裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會泄露。

■ 技術(shù)參數(shù)